循環ファン装置及び循環ファン駆動用モータ

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：熊谷隆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998340578
Publication number (International publication number)：1999303793
Application date： Nov. 30, 1998
Publication date： Nov. 02, 1999
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】循環ファンが高速回転・高荷重であってもプロセスガスを汚染せずにメンテナンスフリーとなり、更に設置省スペース化が図れる循環ファン装置及び循環ファン駆動用モータを提供すること。【解決手段】腐食性プロセスガスが封入された気密容器内に設置された循環ファン2のロータを軸受で回転自在に支持した構成の循環ファン装置であって、循環ファンのロータ2-1、2-2を支持する軸受に制御型の磁気軸受を用い、該磁気軸受のラジアル磁気軸受4、5及びアキシャル磁気軸受6、7の変位センサターゲット4-1、5-1、6-1、7-1とロータ側磁極4-2、5-2、6-2、7-2を循環ファン2のロータ2-1、2-2に固着して気密容器内に連通した密閉空間内に配置し、これに対向する変位センサ4-3、5-3、6-3,7-3とステータ側磁極4-4、5-4、6-4、7-4はキャン14、15、17、18を挟んで気密容器外に配置した。

Claim (excerpt)：

腐食性プロセスガスが封入された気密容器内に設置された循環ファンのロータを軸受で回転自在に支持した構成の循環ファン装置であって、前記循環ファンのロータを支持する軸受に制御型の磁気軸受を用い、該磁気軸受のラジアル磁気軸受及びアキシャル磁気軸受の変位センサターゲットとロータ側磁極を循環ファンのロータに固着して前記気密容器内に連通した密閉空間内に配置し、これに対向する変位センサとステータ側磁極はキャンを挟んで前記気密容器外に配置したことを特徴とする循環ファン装置。

IPC (4)：

F04D 29/04 , H02K 5/15 , H02K 7/09 , F16C 32/04

FI (4)：

F04D 29/04 R , H02K 5/15 , H02K 7/09 , F16C 32/04 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

エキシマレーザ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-342545 Applicant：株式会社小松製作所
超低温用磁気軸受
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-295205 Applicant：株式会社荏原製作所
特開平2-301698

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