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J-GLOBAL ID：200903013104875947
電子放出制御のためのパターニングされた金属を用いたダイアモンド冷陰極
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
本城 雅則 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995151157
Publication number (International publication number)：1996055564
Application date： May. 26, 1995
Publication date： Feb. 27, 1996
Summary：
【要約】【目的】 電子放出制御のためにパターニングされた金属を用いて、抽出電極電流を大幅に低減すると共に、周囲の誘電体への電子注入を減少或いは解消する平面冷陰極電子エミッタを提供する。【構成】 平面冷陰極電子エミッタ(30)は、比較的平面な表面を有する基板を含み、この基板の表面に電子を放出するための低仕事関数の電子放出物質層(34)が形成されている。電子放出物質層(34)上に接触導電層(35)を配置し、それを貫通する開口(37)を規定する。接触導電層(35)上に絶縁層(38)を配置し、接触導電層(35)内の開口の延長上にありかつそれと周囲が整合された開口(39)を絶縁層(38)に規定し、絶縁層(38)上に導電ゲート層(40)を配置する。接触導電層(35)は電界電位を形成するので、放出は実質的に開口(37)の中央で起こる。
Claim (excerpt)：
平面冷陰極電子エミッタ(30)であって:比較的平面な表面を有する基板(33);前記基板表面に支持され、電子を放出する低仕事関数電子放出物質層(34);前記低仕事関数電子放出物質層(34)上に配置され、開口(37)が規定された接触導電層(35);前記接触導電層(35)上に配置され、前記接触導電層(35)内の前記開口(37)と実質的に周囲が整合された開口(39)が規定された絶縁層(38);および前記絶縁層(38)上に配置された導電ゲート層(40);から成ることを特徴とする平面冷陰極電子エミッタ(30)。
IPC (3)：
H01J 1/30
, H01J 31/15
, H05B 33/00
