透明導電膜付き基体とその製造方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：泉名謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996107334
Publication number (International publication number)：1997291356
Application date： Apr. 26, 1996
Publication date： Nov. 11, 1997
Summary：

【要約】【課題】低比抵抗で、しかも耐久性に優れ、電極の微細加工性にも優れ、かつ、耐アルカリ性にも優れた液晶ディスプレイに好適な透明導電膜付き基体及びその製造方法の提供。【解決手段】下地基板1上に、酸化亜鉛を主成分とする透明酸化物層2及びAg膜又はAgを主成分とする金属層3をこの順にn回繰り返して積層し、n番目の金属層3上の透明酸化物層4の上に最上層として酸化インジウムを主成分とする被覆層11を形成する。

Claim (excerpt)：

下地基板上に、透明酸化物層及び金属層がその順にn回(nは1以上の整数)繰り返して積層されているとともに、n番目の金属層上にさらに透明酸化物層が形成されてなる透明導電膜付き基体において、該金属層は、Ag膜又はAgを主成分とする膜からなり、かつ、該透明酸化物層は酸化亜鉛を主成分とし、かつ、n番目の金属層上の透明酸化物層の上に酸化インジウムを主成分とする被覆層が形成されていることを特徴とする透明導電膜付き基体。

IPC (5)：

C23C 14/08 , C01G 9/00 , C01G 15/00 , G02F 1/1333 500 , G02F 1/1343

FI (5)：

C23C 14/08 N , C01G 9/00 B , C01G 15/00 B , G02F 1/1333 500 , G02F 1/1343

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

熱線遮断膜
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-331363 Applicant：旭硝子株式会社
導電性積層体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-131800 Applicant：出光興産株式会社
透明導電膜および該透明導電膜を用いた透明基体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-039968 Applicant：旭硝子株式会社

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