非線形光学結晶素子

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小池晃 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995003280
Publication number (International publication number)：1995244310
Application date： Jan. 12, 1995
Publication date： Sep. 19, 1995
Summary：

【要約】【目的】高出力の紫外レーザ光を発生するレーザ光源の信頼性を向上することができる非線形光学結晶素子を提供する。【構成】基本波となる光ビームが照射される入射面1bと、紫外線波長域の光ビームを出射する出射面1cと、上記入射面1bと上記出射面1cに各々形成された多層の膜2a,2b,2c,3a,3b,3cからなる保護膜2,3とを備え、上記保護膜2,3のうち上記入射面1bもしくは上記出射面1cと直接接する膜2a,3aが、イオンプレーティング法により形成されている。

Claim (excerpt)：

照射された基本波となる光ビームに基づいて紫外線波長域の光ビームを発生する非線形光学結晶素子であって、上記基本波となる光ビームが照射される入射面と、上記紫外線波長域の光ビームを出射する出射面と、上記入射面と上記出射面に各々形成された少なくとも2層の膜からなる保護膜とを備え、上記保護膜のうち上記入射面もしくは上記出射面と直接接する膜は、イオンプレーティング法により形成されていることを特徴とする非線形光学結晶素子。

IPC (2)：

G02F 1/37 , G02F 1/35 505

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開平2-247601
特開平4-038885
特開平2-250043

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