感光性重合体、溶解抑制剤及びこれらを含む化学増幅型フォトレジスト組成物

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：八田幹雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999134933
Publication number (International publication number)：2000038416
Application date： May. 14, 1999
Publication date： Feb. 08, 2000
Summary：

【要約】【課題】食刻耐性が大きいほか、下部の膜質への接着力に優れている感光性重合体、溶解抑制剤及びこれらを含む化学増幅型フォトレジスト組成物を提供する。【解決手段】炭素数1〜20の脂肪族炭化水素基を側鎖として有する5-ノルボルネン-2-メタノール誘導体モノマーと無水マレイン酸モノマーとから重合されてなる感光性共重合体。また、本発明に係る溶解抑制剤は、酸により化学反応を起こす基を作用基として有するトリシクロデカン誘導体あるいはサルササポゲニン誘導体である。

Claim (excerpt)：

炭素数1〜20の脂肪族炭化水素基を側鎖として有する5-ノルボルネン-2-メタノール誘導体モノマーと無水マレイン酸モノマーとから重合されてなる感光性共重合体。

IPC (7)：

C08F 32/04 , C08K 5/156 , C08K 5/17 , C08L 45/00 , C09D137/00 , G03F 7/004 501 , G03F 7/039 601

FI (7)：

C08F 32/04 , C08K 5/17 , C08L 45/00 , C09D137/00 , G03F 7/004 501 , G03F 7/039 601 , C08K 5/15 G

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

感光性ポリマー及びそれを利用した化学増幅型レジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-358468 Applicant：三星電子株式会社

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