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J-GLOBAL ID：200903039887880483

感光性ポリマー及びそれを利用した化学増幅型レジスト組成物

Inventor： 崔 相俊 ,  姜 律 ,  鄭 東垣 ,  朴 春根
Applicant, Patent owner： 三星電子株式会社
Agent (1)： 志賀 正武 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998358468
Publication number (International publication number)：1999269234
Application date： Dec. 02, 1998
Publication date： Oct. 05, 1999
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 通常の現像液を使用して現像でき、優秀なエッチング耐性を有し、膜質に対して優秀な接着力を発揮する感光性ポリマー及びそれを利用した化学増幅型レジスト組成物を提供する。【解決手段】 下記化学式1の高分子、又は化学式1の高分子を有する共重合体を含む感光性ポリマーを提供する。式のうち、R1はC1〜C20の脂肪族炭化水素であり、nは定数である。

Claim (excerpt)：

化学式1の高分子、又は前記化学式1の高分子を有する共重合体を含む感光性ポリマー。【化1】化学式1式のうち、R1はC1〜C20の脂肪族炭化水素であり、nは定数である。

IPC (3)：

C08F222/06 ,  C08F277/00 ,  G03F 7/039 601

FI (3)：

C08F222/06 ,  C08F277/00 ,  G03F 7/039 601

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 化学増幅型レジスト組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-279070   Applicant：三星電子株式会社
• 化学増幅型のレジスト組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-094644   Applicant：三星電子株式会社
• 感光膜共重合体、感光膜共重合体の製造方法、感光膜、感光膜の製造方法、単量体の合成方法、半導体装置の製造方法及び半導体装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-368957   Applicant：現代電子産業株式会社