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J-GLOBAL ID：200903013795151095
III族窒化物結晶成長方法およびIII族窒化物結晶成長装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
植本 雅治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002102654
Publication number (International publication number)：2003300798
Application date： Apr. 04, 2002
Publication date： Oct. 21, 2003
Summary：
【要約】【課題】 III族窒化物を結晶成長させるときに、III族窒化物の多数の核発生を抑制し、核発生制御を容易にすることができて、これにより、結晶品質を高め、実用的な結晶サイズのIII族窒化物結晶を結晶成長させる。【解決手段】 混合融液103を保持する混合融液保持容器102とは分離して、反応容器101内の上室151に、III族窒化物が結晶成長する結晶成長用容器111が設けられている。
Claim (excerpt)：
反応容器内で、アルカリ金属と少なくともIII族金属を含む物質とが混合融液を形成し、該混合融液と少なくとも窒素を含む物質とから、III族金属と窒素とから構成されるIII族窒化物を結晶成長させるIII族窒化物結晶成長方法であって、混合融液を保持する混合融液保持領域とIII族窒化物が結晶成長する結晶成長領域とを分離して、III族窒化物結晶を結晶成長させることを特徴とするIII族窒化物結晶成長方法。
F-Term (8)：
4G077AA02
, 4G077BE15
, 4G077CC04
, 4G077EG25
, 4G077EG29
, 4G077EG30
, 4G077HA02
, 4G077HA12
Cited by applicant (1)
Cited by examiner (1)
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