溶液セル付き原子間力顕微鏡

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：西岡義明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997288303
Publication number (International publication number)：1999118813
Application date： Oct. 21, 1997
Publication date： Apr. 30, 1999
Summary：

【要約】【課題】溶液中の試料を観察する原子間力顕微鏡で溶液に残った気泡の影響がないようにする。【解決手段】試料を三次元的に走査するピエゾスキャナ6の上に載置された試料7と、カンチレバー1が固定されているカンチレバーホルダ2の間は、変形可能なシール3によって密封されており、溶液4が満たされている。レーザー光源からの入射光Nはカンチレバーの背面で反射され、その反射光Hの方向変化が受光器によって検出される。試料表面の凹凸に応じてカンチレバー1が上下し反射光Hの方向が変化するが、その変化を相殺するようにピエゾスキャナ6を制御し、溶液中で試料の凹凸を観察・測定することができる。カンチレバーホルダ2の内側上面は傾斜しており、溶液内に残った気泡5は上部隅に集まり入射光Nと反射光Hの光路からはずれ、測定の邪魔となることがない。

Claim (excerpt)：

試料表面を溶液中で観察するための溶液セルを有する原子間力顕微鏡において、前記溶液セルの内面上部が水平面に対して傾斜していることを特徴とする溶液セル付き原子間力顕微鏡。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

液浸走査型プローブ顕微鏡装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-277924 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
走査型プローブ顕微鏡装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-333054 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
油分濃度測定装置のセル
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-101819 Applicant：株式会社堀場製作所

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