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J-GLOBAL ID：200903014036713581

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 猪俣 克巳 ,  秋山 将宏 ,  岩永 伸一郎 ,  辻 昭
Applicant, Patent owner： ジェイエスアール株式会社
Agent (1)： 岩見谷 周志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997361846
Publication number (International publication number)：1998228104
Application date： Dec. 10, 1997
Publication date： Aug. 25, 1998
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】スカムの発生が有効に抑制され、現像性に優れ、良好なパターン形状が得られるとともに、感度、解像度にも優れ、特に、良好な焦点深度を備えたポジ型レジストとして好適な新規な感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】アルカリ可溶性樹脂および、例えば下記式(1)で表わされるキノンジアジド化合物を含有する感放射線性樹脂組成物。(ここで、Dは下記式で表わされる基を示す。)

Claim (excerpt)：

(A)アルカリ可溶性樹脂、および(B)下記式(1):【化1】(式(1)中、R1〜R6は、独立にアルキル基、シクロアルキル基またはアリール基である。 aおよびbは独立に1〜3の整数であり、D1およびD2は独立に、水素原子または1,2-キノンジアジドスルホニル基であり、 但し、D1が複数存在する場合には、D1の少なくとも1つは1,2-キノンジアジドスルホニル基である。Aは、単結合、-O-、-S-、-CH2-、-C(CH3)2-、下記式(2):【化2】で表される基、または下記式(3):【化3】示される基である。 xおよびyは、0〜2の整数である。)で表される1,2-キノンジアジド化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (6)：

G03F 7/022 601 ,  C08K 5/28 ,  C08L 61/06 ,  C09K 3/00 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027

FI (6)：

G03F 7/022 601 ,  C08K 5/28 ,  C08L 61/06 ,  C09K 3/00 T ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• ポジ型フオトレジスト組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-263694   Applicant：富士写真フイルム株式会社