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J-GLOBAL ID：200903014076973829
カーボンファイバの製造方法、基板カートリッジおよび熱CVD装置
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
岡田 和秀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005278885
Publication number (International publication number)：2007091485
Application date： Sep. 26, 2005
Publication date： Apr. 12, 2007
Summary：
【課題】ダメージが少なく均一な長さで高純度のカーボンファイバを大量に製造することができるようにすること。【解決手段】本カーボンファイバの製造方法は、基板4を基板カートリッジ2に搭載する第1ステップと、基板4に触媒を成膜する第2ステップと、基板カートリッジ2を熱CVD装置6にセットする第3ステップと、熱CVD装置6により基板面上にカーボンファイバ28を成膜する第4ステップと、熱CVD装置6から基板カートリッジ2を取り出す第5ステップと、カーボンファイバ28を触媒に非反応のガス圧により剥離して回収する第6ステップとを含み、同じ基板4を繰り返し利用してカーボンファイバ28の量産を可能とした方法である。【選択図】図2
Claim (excerpt)：
カーボンファイバの製造ステップが、
基板を基板カートリッジに搭載する第1ステップと、
基板カートリッジに搭載した状態で基板に触媒を成膜する第2ステップと、
上記基板カートリッジを熱CVD装置にセットする第3ステップと、
上記熱CVD装置に基板カートリッジをセットした状態で基板面上にカーボンファイバを成膜する第4ステップと、
上記熱CVD装置から基板カートリッジを取り出す第5ステップと、
上記基板カートリッジに基板を搭載した状態で該基板からカーボンファイバを触媒に非反応のガス圧により剥離して回収する第6ステップと、
を含み、
上記ステップを同じ基板を用いて繰り返す製造サイクルを有する、ことを特徴とするカーボンファイバの製造方法。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (15)：
4G146AA11
, 4G146AB06
, 4G146AD23
, 4G146AD24
, 4G146AD29
, 4G146AD32
, 4G146AD40
, 4G146BA12
, 4G146BA48
, 4G146BB22
, 4G146BB23
, 4G146BC09
, 4G146BC42
, 4G146BC43
, 4G146BC44
Cited by applicant (1)
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電子放出素子およびその製造方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2003-160558
Applicant：平木昭夫
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