ヨーレートセンサ

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：恩田博宣
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998252871
Publication number (International publication number)：2000081335
Application date： Sep. 07, 1998
Publication date： Mar. 21, 2000
Summary：

【要約】【課題】より低コスト化を図ることができるヨーレートセンサを提供する。【解決手段】振動子3は基板の上において基板表面にて形成されるX-Y座標面に変位可能に支持され、可動電極7a〜7d,8a〜8dを有する。基板の上において固定電極9a〜9d,10a〜10d,12a〜12d,13a〜13dが、振動子3の可動電極と対向している。励振信号発生回路15は励振信号(I),(II)を送出して振動子3の可動電極と固定電極との間に静電気力を発生させて振動子3を励振させる。スイッチング制御回路16は振動子3の励振動作を停止して振動子3を自由振動させ、演算装置20は振動子3が自由振動を行っているときにおいて、振動子3の振動方向に直交する振動子3の変位を、可動電極と固定電極との間の静電容量から検出してヨーレートを算出する。

Claim (excerpt)：

基板の上に、当該基板の表面にて形成される2軸直交座標面に変位可能に支持され、可動電極を有する振動子と、前記基板の上において前記振動子の可動電極と対向する固定電極と、前記振動子の可動電極と固定電極との間に静電気力を発生させて前記振動子を励振させるための信号を生成する励振信号生成手段と、前記励振信号生成手段による振動子の励振動作を停止して振動子を自由振動させる励振中断手段と、前記励振中断手段により振動子が自由振動を行っているときにおいて、振動子の振動方向に直交する前記振動子の変位を、可動電極と固定電極との間の静電容量から検出してヨーレートを算出するヨーレート算出手段と、を備えたことを特徴とするヨーレートセンサ。

IPC (2)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

F-Term (5)：

2F105BB15 , 2F105BB20 , 2F105CC04 , 2F105CD03 , 2F105CD05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

振動ジャイロ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-349948 Applicant：株式会社ミツトヨ
振動型ジャイロ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-022523 Applicant：株式会社村田製作所
角速度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-196404 Applicant：日産自動車株式会社

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