角速度センサ

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：中村純之助 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995196404
Publication number (International publication number)：1997042973
Application date： Aug. 01, 1995
Publication date： Feb. 14, 1997
Summary：

【要約】【課題】半導体技術により高感度、高精度で、外乱加速度その他のノイズの影響を受け難く小形軽量な角速度センサを量産して低原価で提供することにある。【解決手段】基板と、基板主面上に隔離形成され直交する第1軸と第2軸の方向に振動する振動質量と、振動質量を支持し第1軸と第2軸に対称に配置され両軸方向に等しいバネ定数を持つ少なくとも2つの支持部と、基板に固定され振動質量を第1軸方向に駆動する駆動電極、駆動手段と、基板に固定され振動質量の第2軸方向の変位を検出する検出電極、検出手段で構成され、振動質量と支持部を共通電位に保持し、駆動電極を複数の電圧値を印加可能に分割し、振動質量を第1軸方向に振動させながら基板の主面に垂直な第3軸の回りに回転させたとき第2軸方向に生ずるコリオリ力を検出して第3軸回りの角速度を測定するようにした。

Claim (excerpt)：

基板と、基板主面上に隔離して形成され基板主面内の互いに直交する第1軸と第2軸の方向に振動する振動質量と、一端が振動質量に他端が基板に固定されて振動質量を支持し第1軸と第2軸の方向に対称に配置され両軸の方向に等しいバネ定数を有する少なくとも2つの支持部と、基板に固定され振動質量を第1軸方向に駆動する駆動電極および駆動手段と、基板に固定され振動質量の第2軸方向の変位を検出する検出電極および検出手段とにより構成され、振動質量と支持部を共通電位に保持し、駆動電極を複数の値の電圧を印加できるように分割し、振動質量を第1軸方向に駆動して振動させながら基板の主面に垂直な第3軸の回りに回転させたとき第2軸方向に生ずるコリオリ力を検出することにより第3軸の回りの角速度を測定するようにしたことを特徴とする角速度センサ。

IPC (2)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

力学量センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-274530 Applicant：日本電装株式会社
半導体ヨーレートセンサおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-311762 Applicant：日本電装株式会社
センサー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-113557 Applicant：ブリテッシュエアロスペースパブリックリミテッドカンパニー

Show all

Return to Previous Page