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J-GLOBAL ID：200903014156001208

水浸顕微鏡検査用の浸液

Inventor： ハンス-ヨアヒム ヴァイパート
Applicant, Patent owner： カール-ツァイス-シュティフトゥング・トレーディング・アズ・カール・ツァイス
Agent (2)： 稲岡 耕作 ,  川崎 実夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004049914
Publication number (International publication number)：2004258662
Application date： Feb. 25, 2004
Publication date： Sep. 16, 2004
Summary：

【課題】長期検査の実施を可能にし、水の光学的性質を有する浸漬媒質を設計する。 【解決手段】水浸対物レンズを用いる顕微鏡検査用の浸液は、屈折率が1.25〜1.4の範囲であり、動粘度が20°Cにおいて20mm2/sを超える。

Claim (excerpt)：

水浸顕微鏡検査用の浸液であって、屈折率が1.25〜1.4の範囲であり、動粘度が20°Cにおいて20mm2/sを超える、浸液。

IPC (1)：

G02B21/00

FI (1)：

G02B21/00

F-Term (2)：

2H052AB02 ,  2H052AB03

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 独国特許出願公開 197 05 978 号明細書
  
• 独国特許出願公開 197 37 501 号明細書
  
• 独国特許出願公開 101 23 027 号明細書
  

Cited by examiner (1)

• パターン形成方法及びその露光装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-008136   Applicant：株式会社日立製作所