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J-GLOBAL ID：200903014161856840

有機金属気相エピタキシー用の有機金属化合物

Inventor：
岡本 浩治

About 岡本 浩治


Applicant, Patent owner：
田中貴金属工業株式会社

About 田中貴金属工業株式会社


Agent (1)： 田中 大輔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999086116
Publication number (International publication number)：2000281694
Application date： Mar. 29, 1999
Publication date： Oct. 10, 2000
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】薄膜としての成膜速度が均一で、熱的安定性に優れた有機ルテニウム化合物及び有機白金化合物の提供を目的とする。【解決手段】有機ルテニウム化合物は、五員環であるシクロペンタジエン環の置換基の少なくとも1つの置換基はCH2CH3、CH2CH2CH3、CH2CH2CH2CH3、C(CH3)3、CH2(C6H5)、COCH3、COOCH3、CH2OCH3 のいずれかのアルキル基を持つものを原料とし、白金化合物は、五員環であるシクロペンタジエン環の置換基の少なくとも1つの置換基はCH3、CH2CH3、CH2CH2CH3、CH2CH2CH2CH3、C(CH3)3、CH2(C6H5) のいずれかのアルキル基を持つものを原料として用いる。
Claim (excerpt)：
有機金属気相エピタキシー法により、基板表面にルテニウム若しくはルテニウム酸化物の薄膜を形成するための有機金属化合物であって、以下に化1として示す一般構造式を有することを特徴とする有機ルテニウム化合物。【化1】[一般構造式中、2つの五員環の置換基であるR1、R2、R3、R4、R5、R1’、R2’、R3’、R4’、R5’の少なくとも1つの置換基はCH2CH3、CH2CH2CH3、CH2CH2CH2CH3、C(CH3)3、CH2(C6H5)、COCH3、COOCH3、CH2OCH3 のいずれかのアルキル基を持つものである。]
IPC (6)：
C07F 17/02 ,  C23C 16/18 ,  C23C 16/40 ,  C30B 25/02 ,  C30B 29/02 ,  C30B 29/16
FI (6)：
C07F 17/02 ,  C23C 16/18 ,  C23C 16/40 ,  C30B 25/02 Z ,  C30B 29/02 ,  C30B 29/16
F-Term (26)：
4G077AA03 ,  4G077AA07 ,  4G077BA01 ,  4G077BB10 ,  4G077DB08 ,  4G077DB11 ,  4G077DB21 ,  4G077EC04 ,  4G077TA04 ,  4G077TB05 ,  4G077TC01 ,  4H050AA03 ,  4H050AB78 ,  4H050AB91 ,  4H050WB11 ,  4H050WB19 ,  4H050WB21 ,  4K030AA11 ,  4K030AA16 ,  4K030AA17 ,  4K030BA01 ,  4K030BA42 ,  4K030CA06 ,  4K030EA01 ,  4K030FA10 ,  4K030LA15
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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