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J-GLOBAL ID：200903014212897090

ガラス基板の搬送方法および搬送システム

Inventor：
藤田 有司

About 藤田 有司


Applicant, Patent owner：
シャープ株式会社

About シャープ株式会社


Agent (6)： 深見 久郎 ,  森田 俊雄 ,  仲村 義平 ,  堀井 豊 ,  野田 久登 ,  酒井 將行
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004329359
Publication number (International publication number)：2005053705
Application date： Nov. 12, 2004
Publication date： Mar. 03, 2005
Summary：
【課題】 人員の削減および、人件費の削減とランニングコストの削減、基板への影響をなくし、工場の配送スペースの縮小ができる、ガラス基板の搬送方法を提供する。【解決手段】 ガラス基板の搬送方法は、A工場からB工場までガラス基板を搬送するガラス基板の搬送方法であって、A工場に配置されたガラス基板カセット移載ステーション5のドア4を開けて、ガラス基板カセット1をガラス基板カセット移載ステーション5に移動する工程と、ドア4を閉じる工程と、ガラス基板カセット1を収容する専用ボックス6をガラス基板カセット移載ステーション5のドア13に気密的に密着させる工程と、ドア13および専用ボックス6のオートドア11を開けて、ガラス基板カセット1を専用ボックス6に収容する工程と、ドア13およびオートドア11を閉じる工程とを含む。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
第1工場から第2工場までガラス基板を搬送するガラス基板の搬送方法であって、 前記第1工場に配置された第1移載ステーションの搬入口を開けて、ガラス基板カセットを前記第1移載ステーションに移動する工程と、 前記第1移載ステーションの搬入口を閉じる工程と、 前記ガラス基板カセットを収容する専用ボックスを前記第1移載ステーションの搬出口に気密的に密着させる工程と、 前記第1移載ステーションの搬出口および前記専用ボックスのドアを開けて、前記ガラス基板カセットを前記専用ボックスに収容する工程と、 前記第1移載ステーションの搬出口および前記専用ボックスのドアを閉じる工程と を含む、ガラス基板の搬送方法。
IPC (4)：
B65G49/06 ,  B65D85/86 ,  B65G49/00 ,  H01L21/68
FI (5)：
B65G49/06 Z ,  B65G49/00 A ,  H01L21/68 A ,  H01L21/68 T ,  B65D85/38 R
F-Term (21)：
3E096AA13 ,  3E096BA20 ,  3E096BA24 ,  3E096BB03 ,  3E096CA02 ,  3E096CB03 ,  3E096DA26 ,  3E096FA01 ,  3E096FA03 ,  3E096FA31 ,  5F031CA05 ,  5F031DA08 ,  5F031DA19 ,  5F031EA14 ,  5F031EA19 ,  5F031FA02 ,  5F031FA03 ,  5F031GA19 ,  5F031NA02 ,  5F031NA09 ,  5F031NA10
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (8)
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