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J-GLOBAL ID:200903014318917783

光ディスク原盤製造装置および製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 松村 修
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997036102
Publication number (International publication number):1998233030
Application date: Feb. 20, 1997
Publication date: Sep. 02, 1998
Summary:
【要約】【課題】各種の規格の光ディスク原盤を製造することが可能な光ディスク原盤製造装置を提供することを目的とする。【解決手段】絞り変更機構13によってレーザ発生装置11からの平行光12を絞ることによって、ガラス原盤18上のフォトレジスト19に照射されるレーザ光の中央スポット径Dの直径を変更し、これによって各種の光ディスク原盤に対応させるようにする。
Claim (excerpt):
レーザ光を発生するレーザ光発生装置と、前記レーザ光発生装置によって発生されたレーザ光を絞る絞り機構と、前記絞り機構によって絞られたレーザ光が原盤上の感光層または表層に焦点を結ぶように照射する対物レンズと、をそれぞれ具備し、前記絞り機構の絞り径を変更することにより前記レーザ光のビームのスポット径を変化させるようにしたことを特徴とする光ディスク原盤製造装置。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
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