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J-GLOBAL ID：200903014325548610

光スイッチ及びその製造方法

Inventor： 加藤 嘉睦
Applicant, Patent owner： 日本航空電子工業株式会社
Agent (1)： 草野 卓 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999058297
Publication number (International publication number)：2000258704
Application date： Mar. 05, 1999
Publication date： Sep. 22, 2000
Summary：

【要約】【課題】 小型かつ高精度の光スイッチを提供する。【解決手段】 基板11上に、その基板表面と平行に位置され、かつその基板表面に対して垂直方向に変位可能とされた可動電極12上にマイクロミラー15が搭載されてなる光スイッチにおいて、基板11を導電材によって構成し、その基板表面にエッチング加工により凹部31を形成し、その凹部31の底面を可動電極12と平行対向する固定電極面とする。従来の基板に貫通孔を形成し、固定電極を構成する別基板を貼り合わせるものに比し、基板の枠状領域が不要となる分、小型化でき、かつそのように接着により固定電極面を位置決めするものではないため、良好な位置精度を得ることができる。

Claim (excerpt)：

基板上に、その基板表面と平行に位置され、かつその基板表面に対して垂直方向に変位可能とされた可動電極上にマイクロミラーが搭載され、上記可動電極を駆動して上記マイクロミラーを変位させることにより入射する光ビームの光路切り換えが行われる光スイッチにおいて、上記基板が導電材よりなり、その基板表面にエッチング加工により凹部が形成され、その凹部の底面が上記可動電極と平行対向する固定電極面とされていることを特徴とする光スイッチ。

F-Term (5)：

2H041AA15 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 改善された微小機械変調器の方法及び装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-018208   Applicant：ルーセントテクノロジーズインコーポレーテッド
• 光スイッチ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-146178   Applicant：横河電機株式会社