Pat

J-GLOBAL ID：200903014341213041

ダイシング方法

Inventor： 中島 努
Applicant, Patent owner： 株式会社東京精密
Agent (1)： 松浦 憲三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003080360
Publication number (International publication number)：2004288961
Application date： Mar. 24, 2003
Publication date： Oct. 14, 2004
Summary：

【課題】加工中のワークをワーク吸着テーブルから取り外すことなく、ダイシングブレードのドレッシング作業を行うことができ、ダイシングブレードの切れ味を常に良好な状態に維持することのできるダイシング方法を提供する。【解決手段】ワークWが貼付されたダイシングテープT上にワークWと隣接してドレス部材Dを貼付し、ダイシングブレードをワークWの加工に引き続いて、又はワークWの加工に先行してドレス部材Dに切込ませることにより、ダイシングブレードがワークWを1ライン加工する毎にドレッシングするようにした。【選択図】 図3

Claim (excerpt)：

ダイシングテープに貼付されてフレームにマウントされたワークに、回転するブレードで溝入れ加工や切断加工を行うダイシング方法において、 前記ダイシングテープの前記ワークに隣接した位置に、前記ブレードをドレッシングするドレス部材を貼付し、 前記ワークの加工に引き続き、又はワークの加工に先行して前記ドレス部材を加工することを特徴とするダイシング方法。

IPC (2)：

H01L21/301 ,  B24B53/00

FI (2)：

H01L21/78 F ,  B24B53/00 K

F-Term (1)：

3C047AA32

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• ダイシングテープ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-250196   Applicant：株式会社ディスコ
• 特開平2-155703
  
• 特開昭56-164553