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J-GLOBAL ID：200903014384043581

物品保持装置

Inventor：
三嶋 和彦

About 三嶋 和彦


Applicant, Patent owner：
京セラ株式会社

About 京セラ株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995193855
Publication number (International publication number)：1997045753
Application date： Jul. 28, 1995
Publication date： Feb. 14, 1997
Summary：
【要約】【課題】ウエハとの摺動に伴う保持面の摩耗を防止することにより、物品保持装置の寿命を向上させるとともに、保持面の平坦精度が損なわれないようにする。また、保持面への埃塵の付着を防止することにより、半導体ウエハに対し悪影響を与えず、ウエハへの回路転写時における断線や短絡の防止、露光時における解像不良を防ぐとともに、ガラス基板の露光時には光の反射を低減し、解像不良を防止する。【解決手段】半導体ウエハやLCD用ガラス基板などのウエハを保持する保持面がセラミックスからなる物品保持装置において、上記保持面に非晶質硬質炭素膜を被覆する。
Claim (excerpt)：
物品を吸着または載置して保持する保持面がセラミックスからなる物品保持装置において、上記保持面に非晶質硬質炭素膜を被覆したことを特徴とする物品保持装置。
IPC (4)：
H01L 21/68 ,  G11B 5/84 ,  H01L 21/027 ,  B25B 11/00
FI (4)：
H01L 21/68 N ,  G11B 5/84 Z ,  B25B 11/00 A ,  H01L 21/30 503 C
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)
  • 低発塵性の装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-316276   Applicant：株式会社ニコン
  • ウエハチャック
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-347940   Applicant：株式会社日立製作所
  • 特開平3-053070

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