反射縮小投影光学系

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998266124
Publication number (International publication number)：2000098227
Application date： Sep. 21, 1998
Publication date： Apr. 07, 2000
Summary：

【要約】【課題】従来の3枚構成による反射縮小投影光学系における凸面鏡は、とかくパワーがきつくなりすぎ、収差を発生させやすい構造となっている。本発明では、この欠点を回避する。【解決手段】第1面上の物体を第2面上に縮小結像する反射縮小投影光学系において、相対する2つの凹面反射鏡と、該相対する2つの凹面反射鏡の中側に、相対する2つの凸面反射鏡を少なくとも1組と、開口絞りと、を含み、該開口絞りは、前記相対する2つの凹面反射鏡のうち前記第2面に近い凹面反射鏡と、前記相対する2つの凸面反射鏡のうち前記第2面に近い凸面反射鏡と、の間で、且つ、特定の配置条件を満足する位置に、配置されることを特徴とする反射縮小投影光学系を提供する。

Claim (excerpt)：

第1面上の物体を第2面上に縮小結像する反射縮小投影光学系において、相対する2つの凹面反射鏡と、該相対する2つの凹面反射鏡の中側に、相対する2つの凸面反射鏡を少なくとも1組と、開口絞りと、を含み、該開口絞りは、前記相対する2つの凹面反射鏡のうち前記第2面に近い凹面反射鏡と、前記相対する2つの凸面反射鏡のうち前記第2面に近い凸面反射鏡と、の間で、且つ、以下の配置条件を満足する位置に、配置されることを特徴とする反射縮小投影光学系。0.1≦x/L≦0.9但し、Lは、前記第2面に近い凹面反射鏡から、前記第2面に近い凸面反射鏡まで、の光軸上の距離であり、xは、前記第2面に近い凸面反射鏡から、前記開口絞りまで、の光軸上の距離である。

IPC (3)：

G02B 17/00 , G03F 7/20 503 , H01L 21/027

FI (3)：

G02B 17/00 A , G03F 7/20 503 , H01L 21/30 517

F-Term (18)：

2H087KA21 , 2H087NA04 , 2H087NA05 , 2H087RA32 , 2H087TA02 , 2H087TA06 , 2H097AB09 , 2H097CA13 , 2H097CA15 , 2H097GB01 , 5F046BA05 , 5F046CA08 , 5F046CB02 , 5F046CB25 , 9A001BB05 , 9A001JJ35 , 9A001KK16 , 9A001LL02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平4-262524
集光光学系
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-330628 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
特開平3-103809

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