液晶表示装置の製造方法、光学的検査装置及び光学的検査方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小川勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996265738
Publication number (International publication number)：1998111237
Application date： Oct. 07, 1996
Publication date： Apr. 28, 1998
Summary：

【要約】【課題】液晶表示装置の配向膜基板の不良を非接触非破壊で検査すること、並びに実用に耐えうる程度の短い時間で検査できるようにすること。【解決手段】配向膜に配向特性を付与した後、液晶が表面にない状態で指向性の高いほぼ完全な直線偏光を照射し、透過光を消光比の高い検光子に入れ、透過光を配向膜表面が超高感度撮像装置に結像するようして検出する。また入射直線偏光及び検光子と配向膜の基板を結像系の光軸を中心に回転し、異方性の方向、量及び配向膜状の異物や傷も非接触非破壊で検出可能にし、配向膜製造工程にフィ-ドバックする。液晶表示装置の液晶を封入する前に配向膜の不良を短時間で検出できるので、配向特性付与工程に即座にフィ-ドバックができるようになり、高い歩留まりで、優れた性能の液晶表示装置を生産することが可能になった。

Claim (excerpt)：

2枚の液晶基板の少なくとも一方に配向膜を塗布し、該配向膜に配向特性を付与し、該2枚の液晶基板の間に液晶を封入して作られる液晶表示装置の製造方法において、配向膜に配向特性を付与した後、かつ液晶を封入する前の液晶基板に、指向性が高くかつほぼ完全な直線偏光を照射し、透過した光を消光比の高い検光子に入射させ、該検光子を透過した光を超高感度撮像装置で受光し、かつ配向膜と超高感度撮像装置の間に結像光学系を設け、配向膜面と超高感度撮像装置のセンサ面を互いに共役な関係で結び、超高感度撮像装置で得られた情報を元に配向膜の光学的特性を検出することにより、液晶を用いずに配向膜の検査を行うことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。

IPC (2)：

G01N 21/21 , G02F 1/1337

FI (2)：

G01N 21/21 Z , G02F 1/1337

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

ラビング検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-092994 Applicant：株式会社ニコン
偏光顕微鏡システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-075391 Applicant：浜松ホトニクス株式会社
液晶表示素子の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-251020 Applicant：松下電器産業株式会社

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