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J-GLOBAL ID：200903014708904640

ペリクル

Inventor： 濱田 裕一
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社
Agent (1)： 小島 隆司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995245530
Publication number (International publication number)：1997068793
Application date： Aug. 30, 1995
Publication date： Mar. 11, 1997
Summary：

【要約】【解決手段】 ペリクルフレーム(2)の上端面にペリクル膜(3)を張設してなるペリクルにおいて、上記ペリクルフレーム(2)の内周面の上端側が下端側より内方に突出していることを特徴とするペリクル。【効果】 本発明のペリクルは、露光光源の光がペリクルフレームの内周面に照射され難いので、内周面に形成される異物捕集用粘着剤層、更にはペリクルフレームの下端面に形成される露光原版との貼着用粘着剤層の光劣化が可及的に防止されるものである。

Claim (excerpt)：

ペリクルフレーム(2)の上端面にペリクル膜(3)を張設してなるペリクルにおいて、上記ペリクルフレーム(2)の内周面の上端側が下端側より内方に突出していることを特徴とするペリクル。

IPC (3)：

G03F 1/14 ,  B08B 17/02 ,  H01L 21/027

FI (3)：

G03F 1/14 K ,  B08B 17/02 ,  H01L 21/30 502 P

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• ペリクル
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-180504   Applicant：東ソー株式会社