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J-GLOBAL ID：200903014799283634

光子検出器及びその製造方法

Inventor：
箕浦 憲彦

About 箕浦 憲彦

, 
高橋 淳郎

About 高橋 淳郎


Applicant, Patent owner：
独立行政法人産業技術総合研究所

About 独立行政法人産業技術総合研究所


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004073818
Publication number (International publication number)：2005268243
Application date： Mar. 16, 2004
Publication date： Sep. 29, 2005
Summary：
【課題】 本願発明は、超微弱光を室温で検出することが可能で、広い受光部面積を有し、容易な製造・集積化が可能な光子検出装置を提供することを目的とする。【解決手段】 本願発明の上記目的は、少なくとも一方は、透明電極である上下二枚の電極間に金属微粒子を絶縁膜で被覆し、絶縁層を介して二次元的に配置させ、上記金属微粒子に隣接するように絶縁膜で覆われた半導体微粒子を配置した構成とすることによって実現することで達成することができる。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
光子検出器において、少なくとも一方は透明電極である上下二枚の電極間に絶縁層を介して、絶縁膜で覆われた金属微粒子を二次元的に配置させ、該金属微粒子に隣接するように絶縁膜で覆われた半導体微粒子を配置したことを特徴とする光子検出器。
IPC (3)：
H01L31/10 ,  G01J1/02 ,  H01L27/14
FI (3)：
H01L31/10 E ,  G01J1/02 B ,  H01L27/14 K
F-Term (25)：
2G065AB02 ,  2G065AB04 ,  2G065BA07 ,  2G065BA34 ,  2G065DA20 ,  2G088EE01 ,  2G088GG19 ,  2G088GG20 ,  2G088JJ05 ,  2G088JJ09 ,  2G088JJ31 ,  2G088JJ37 ,  4M118AA01 ,  4M118AB10 ,  4M118BA05 ,  4M118CA09 ,  4M118CB13 ,  4M118CB14 ,  4M118EA01 ,  4M118GA10 ,  5F049MA15 ,  5F049MB01 ,  5F049SE04 ,  5F049SE05 ,  5F049WA05
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 光検出器
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-038560   Applicant：富士ゼロックス株式会社
Cited by examiner (5)
  • 光および荷電粒子検出装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-290932   Applicant：株式会社日立製作所
  • 光検出器
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-117189   Applicant：株式会社日立製作所
  • ミリ波・遠赤外光検出器
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-334196   Applicant：科学技術振興事業団
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Article cited by the Patent：
Cited by examiner (1)

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