2軸レ-ザ加工機

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：後藤洋介 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998369301
Publication number (International publication number)：2000190087
Application date： Dec. 25, 1998
Publication date： Jul. 11, 2000
Summary：

【要約】【課題】安価で小型の2軸レーザ加工機を提供する。【解決手段】 CO2ガスレーザ発振器11からのレーザ光を、偏光ビームスプリッタ12でP波とS波とに分岐させる。P波は、第1のガルバノスキャナ16に入射する。S波は、ミラー13,14を介して、第2のガルバノスキャナ17に入射する。第1のガルバノスキャナから出射したP波及び第2のガルバノスキャナから出射したS波は、偏光ミキサー18によって、ともにfθレンズ19に入射させられる。fθレンズは、入射したP波及びS波をそれぞれ被加工物15の目標位置に垂直入射させる。

Claim (excerpt)：

レーザ光を発生するレーザ発振器と、前記レーザ光を2分岐するビームスプリッタと、該ビームスプリッタによって分岐された前記レーザ光をそれぞれ走査するための第1及び第2のガルバノスキャナと、前記第1及び前記第2のガルバノスキャナからのレーザ光を被加工物に垂直に照射するためのfθレンズと、前記第1及び前記第2のガルバノスキャナからのレーザ光をともに前記fθレンズに入射させるためのミキサーと、を備えたことを特徴とする2軸レーザ加工機。

IPC (5)：

B23K 26/06 , B23K 26/00 330 , H01S 3/00 , H01S 3/101 , H05K 3/00

FI (5)：

B23K 26/06 C , B23K 26/00 330 , H01S 3/00 B , H01S 3/101 , H05K 3/00 N

F-Term (13)：

4E068AF00 , 4E068CD03 , 4E068CD08 , 4E068CK01 , 4E068DA11 , 5F072AA05 , 5F072JJ01 , 5F072JJ08 , 5F072KK15 , 5F072KK30 , 5F072MM01 , 5F072MM11 , 5F072YY06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

レーザ加工装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-207897 Applicant：松下電器産業株式会社

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