Pat
J-GLOBAL ID：200903015154972857

液体のスピンコーティング方法とその装置

Inventor：
市川 英政

About 市川 英政


Applicant, Patent owner：
ノードソン株式会社

About ノードソン株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993252201
Publication number (International publication number)：1995080387
Application date： Sep. 14, 1993
Publication date： Mar. 28, 1995
Summary：
【要約】【目的】 スピンコーティング法における予備塗布において、従来のディスペンサよりの被膜液の塊状塗布物を低回転のスピニングによって液膜化することを避け、最初よりファン状スプレイ用エアレススプレイノズルより低圧にて液状塗布物を膜状に塗布することによって、上記スピニングによる液状塗布物の飛散消費量を少なくする方法と装置とである。【構成】 従来のスピンコータにおけるディスペンサに代はって、ファン状スプレイ用エアレススプレイノズルを使用し、低圧の下にて帯状の液膜を吐出する方法と装置とである。
Claim (excerpt)：
先ず比較的低速にて水平に回転する板状被塗物(D)の面上に、ファン状スプレイ用エアレススプレイノズル(3)より比較的低圧の下にて液膜(Fe)を吐出し、その液膜を上記被塗物(D)面上一面に塗布(Fc)してこれを予備塗布となし、しかる後、上記被塗物(D)の回転をより高速化して、より強力なる遠心力によって上記塗布された液膜(Fc)内の過剰の液体を被塗物(D)の外方に振り飛ばし、該被塗物(D)面上に、より薄いかつ均一厚の液膜(Fcf)に仕上げて塗布することを特徴とする液体のスピンコーティング方法。
IPC (5)：
B05C 11/08 ,  B05D 1/40 ,  G03F 7/16 502 ,  G11B 5/842 ,  H01L 21/027
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM