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J-GLOBAL ID:200903015430788780
形状測定装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
八田 幹雄 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998370107
Publication number (International publication number):2000193429
Application date: Dec. 25, 1998
Publication date: Jul. 14, 2000
Summary:
【要約】【課題】 複雑な形状を持つ被測定物であっても安定して高精度に測定できる形状測定装置を提供する。【解決手段】 被測定面1aに対する角度の調整が可能な測距センサ10内に、レーザ光源11のレーザ光出射方向に関して互いに対称な左右の位置に二組の集光レンズ12a,12bとラインCCDカメラ13a,13bを配置し、これら二つのCCDカメラ13a,13bの受光強度を比較して、それらが一致するように測距センサ10の傾きを制御する。
Claim (excerpt):
レーザ光の反射を利用した三角測量方式により被測定物の表面形状を測定する形状測定装置において、レーザ光源と、該レーザ光源のレーザ光出射方向に関して互いに対称な左右の位置に配置された二つのアレイ型の受光素子とを備えた測距センサと、被測定面に対する前記測距センサの傾斜角を相対的に可変する回転機構と、前記二つの受光素子の受光強度を比較して、それらが一致するように前記回転機構を制御する制御手段と、を有することを特徴とする形状測定装置。
FI (2):
G01B 11/24 A
, G01B 11/24 N
F-Term (25):
2F065AA06
, 2F065AA52
, 2F065BB05
, 2F065CC11
, 2F065EE05
, 2F065FF09
, 2F065GG06
, 2F065GG12
, 2F065HH13
, 2F065JJ02
, 2F065JJ05
, 2F065JJ25
, 2F065LL05
, 2F065PP03
, 2F065PP05
, 2F065PP22
, 2F065QQ25
, 2F065QQ26
, 2F065QQ27
, 2F065QQ42
, 2F065RR09
, 2F065TT02
, 2F065UU01
, 2F065UU02
, 2F065UU05
Patent cited by the Patent: