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J-GLOBAL ID：200903015457596530

2軸加速度センサ

Inventor：
恒吉 潤

About 恒吉 潤

, 
新荻 正隆

About 新荻 正隆


Applicant, Patent owner：
セイコーインスツル株式会社

About セイコーインスツル株式会社


Agent (1)： 松下 義治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006049450
Publication number (International publication number)：2007225528
Application date： Feb. 27, 2006
Publication date： Sep. 06, 2007
Summary：
【課題】 量産性に優れた2軸加速度センサを提供する。【解決手段】 自発分極方向と平行で、かつお互いが直交する様に設けられた2組の対向電極をもつ圧電素子40を少なくとも1つ以上配置し、その自由端面に錘20を連接する。錘20に作用する慣性力で圧電体素子40を剪断変形させ、2軸方向に加速度を分離して検出する。自発分極方向が板厚方向である板材への2.5次元加工と電極形成だけで加工できるセンサ構造としたため、量産性に優れる。圧電材料として点群4mmまたは6mmに分類される材料を用いることで、加速度検出方向の指向性を高める。【選択図】 図5
Claim (excerpt)：
圧電体と、前記圧電体の自発分極方向と平行に、前記圧電体の側面に対向配置された第1の電極対と、前記圧電体の自発分極方向と平行かつ前記第1の電極対と直交する前記圧電体の対向する側面に対向配置された第2の電極対と、からなる圧電素子と、 前記圧電素子の上面に接続された錘と、 前記圧電素子の下面に接続され、前記圧電素子を固定する基板と、 を有する加速度センサ。
IPC (5)：
G01P 15/09 ,  G01P 15/18 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/187
FI (5)：
G01P15/09 Z ,  G01P15/00 K ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/18 101D
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (12)
  • 特開200240042号公報
  • 2軸加速度センサ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-252899   Applicant：株式会社トーキン
  • センサを有する3成分圧電振動加速度計
    Gazette classification：公表公報   Application number：特願2004-557006   Applicant：コブヤコフイゴールボリソヴィッチ
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Cited by examiner (10)
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