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J-GLOBAL ID：200903015479425348

異種材料複合体およびその製造方法

Inventor： 藤井 重男 ,  高木 秀樹
Applicant, Patent owner： 独立行政法人産業技術総合研究所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003344286
Publication number (International publication number)：2005104810
Application date： Oct. 02, 2003
Publication date： Apr. 21, 2005
Summary：

【課題】 一方が多結晶体で他方が単結晶体から成る2種の材料が互いの面を接して接合されて成る異種複合体を提供する【解決手段】 多結晶体の接合面には金属膜が形成され、単結晶の接触面には予めイオン照射を行うことにより清浄な表面を形成してのち、真空中で常温または300°C以下の加熱雰囲気中で2種の材料を5MPa未満の圧力を印加させることで加圧しながら接触させることで、2種の基板を接合し、単結晶体との界面には厚みが15nm以下の非晶質層が形成されている異種材料複合体とする。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

一方が多結晶体で他方が単結晶体である2種の材料が互いの面を接して接合されて成る複合体であって、前記多結晶体の接合面には金属の薄膜層が形成されており、前記単結晶体との界面に単結晶体を構成する元素又は前記金属膜を構成する元素を含む非晶質層が形成されて成ることを特徴とする異種材料複合体。

IPC (4)：

C04B37/02 ,  C30B33/06 ,  H01L41/187 ,  H01L41/22

FI (4)：

C04B37/02 B ,  C30B33/06 ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/22 Z

F-Term (36)：

4G026BA01 ,  4G026BA02 ,  4G026BA03 ,  4G026BA05 ,  4G026BA08 ,  4G026BA16 ,  4G026BA17 ,  4G026BB35 ,  4G026BC01 ,  4G026BC02 ,  4G026BD01 ,  4G026BD02 ,  4G026BD04 ,  4G026BD06 ,  4G026BD08 ,  4G026BD12 ,  4G026BE04 ,  4G026BF31 ,  4G026BF33 ,  4G026BF34 ,  4G026BF35 ,  4G026BF36 ,  4G026BF46 ,  4G026BG01 ,  4G026BG03 ,  4G026BG04 ,  4G026BG06 ,  4G026BG23 ,  4G026BH06 ,  4G026BH07 ,  4G026BH09 ,  4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077BE05 ,  4G077BE46 ,  4G077FF02

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 特許第2791429号公報(第1頁)
  

Cited by examiner (1)

• 特開昭62-070271