光偏向器及びこれを用いた表示装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：三好秀和 (外9名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998324092
Publication number (International publication number)：2000147419
Application date： Nov. 13, 1998
Publication date： May. 26, 2000
Summary：

【要約】【課題】低い駆動電力の下でも高速で、且つ、広偏向角で揺動することができると共に、反射ミラー部の剛性にも問題が生じない。【解決手段】反射ミラー部7を一対の支持部8,8を介してベース2に揺動自在に構成し、ベース2に一対の固定電極10,11を配置し、この各固定電極10,11と反射ミラー部7との間に電圧を印加して静電力で反射ミラー部7が一対の支持部8,8を揺動中心軸CLとして揺動する光偏向器1において、反射ミラー部7の裏面には揺動中心軸CLに直交する方向に延びる溝9aと突起部9bとから成るミラー側櫛歯部9を形成し、各固定電極10,11の反射ミラー部7側には、ミラー側櫛歯部9に噛み合い可能な溝12aと突起部12bとから成る電極側櫛歯部12を形成した。

Claim (excerpt)：

表面に光反射面を有する反射ミラー部と、この反射ミラー部をベースに対して揺動自在に支持する一対の支持部と、前記ベースの反射ミラー部側に配置された一対の固定電極とを有し、この各固定電極と前記反射ミラー部との間に電圧を印加して静電力で前記反射ミラー部が前記一対の支持部を揺動中心軸として揺動する光偏向器において、前記反射ミラー部の裏面には前記揺動中心軸に直交する方向に延びる溝と突起部とから成るミラー側櫛歯部を形成し、前記各固定電極の前記反射ミラー部側には、前記ミラー側櫛歯部に噛み合い可能な溝と突起部とから成る電極側櫛歯部を形成したことを特徴とする光偏向器。

IPC (3)：

G02B 26/10 104 , G02B 26/10 , G02B 26/08

FI (3)：

G02B 26/10 104 Z , G02B 26/10 F , G02B 26/08 E

F-Term (7)：

2H041AA11 , 2H041AB14 , 2H041AC06 , 2H041AZ02 , 2H045AB16 , 2H045BA18 , 2H045DA32

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

ガルバノミラーおよびこれを用いた光ディスク装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-305783 Applicant：株式会社東芝
表示装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-268305 Applicant：日本ビクター株式会社
共振型光偏向器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-080743 Applicant：富士写真フイルム株式会社

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