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J-GLOBAL ID：200903015825471092

塗布法による酸化物薄膜の製造方法

Inventor： 長谷 卓
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997024954
Publication number (International publication number)：1998226519
Application date： Feb. 07, 1997
Publication date： Aug. 25, 1998
Summary：

【要約】【課題】 溶液塗布法による酸化物薄膜の形成において従来より安全性が高い溶媒を用いて従来と同等の特性の薄膜を得られる製造方法を提供する。【解決手段】 薄膜の構成元素である有機金属が1-メトキシ-2-プロパノールもしくは1-エトキシ-2-プロパノールを主成分とする溶媒に溶解している溶液を塗布溶液として用いる。好ましくは1-メトキシ-2-プロパノールもしくは1-エトキシ-2-プロパノールを主成分とする溶媒に有機金属を溶解した溶液に乳酸エチルが含まれているものを塗布溶液として用いる。

Claim (excerpt)：

有機金属を溶解した溶液を基板上に塗布しこれに熱処理を加えて酸化物薄膜を形成する塗布法による酸化物薄膜の製造方法において、薄膜の構成元素である金属元素の有機金属化合物を、1-メトキシ-2-プロパノールもしくは1-エトキシ-2-プロパノールの少なくともいずれか一方を主成分とする溶媒に溶解させた溶液を塗布溶液として用いることを特徴とする塗布法による酸化物薄膜の製造方法。

IPC (3)：

C01G 23/00 ,  C23C 26/00 ,  H01G 7/06

FI (3)：

C01G 23/00 C ,  C23C 26/00 C ,  H01G 7/06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平2-196749
  
• 強誘電体薄膜形成剤
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-004570   Applicant：三菱マテリアル株式会社