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J-GLOBAL ID：200903015849445572

表面欠陥検査装置

Inventor：
春山 弘司

About 春山 弘司


Applicant, Patent owner：
キヤノン株式会社

About キヤノン株式会社


Agent (1)： 山下 亮一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004189470
Publication number (International publication number)：2006010550
Application date： Jun. 28, 2004
Publication date： Jan. 12, 2006
Summary：
【課題】分解能を落とすことなく画素のムダを最小限に抑えることができる表面欠陥検査装置を提供すること。【解決手段】円筒表面等の局所的な凹凸部の検査測定において、被対象の稜線部を透過光にて観察する観察手段と、前記被対象と観察手段を相対的に移動する移動手段とを持ち、前記観察手段は照明手段と受光手段から成り、前記受光手段には稜線位置に焦点を合わせた結象光学手段を持つ1次元ラインセンサを用い、前記ラインセンサ配置を被対象稜線方向から傾けて配置することを特徴とする。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
円筒表面等の局所的な凹凸部の検査測定において、被対象の稜線部を透過光にて観察する観察手段と、前記被対象と観察手段を相対的に移動する移動手段とを持ち、前記観察手段は照明手段と受光手段から成り、前記受光手段には稜線位置に焦点を合わせた結象光学手段を持つ1次元ラインセンサを用い、前記ラインセンサ配置を被対象稜線方向から傾けて配置することを特徴とする表面欠陥検査装置。
IPC (2)：
G01N 21/952 ,  G01B 11/30
FI (2)：
G01N21/952 ,  G01B11/30 A
F-Term (25)：
2F065AA49 ,  2F065BB08 ,  2F065BB25 ,  2F065DD02 ,  2F065DD03 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065FF65 ,  2F065GG02 ,  2F065GG07 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ25 ,  2F065MM04 ,  2F065MM07 ,  2F065PP02 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ25 ,  2F065SS04 ,  2G051AA90 ,  2G051AB07 ,  2G051BB01 ,  2G051CA03 ,  2G051CA06
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)

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