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J-GLOBAL ID：200903015941117930

透明導電膜の製造方法

Inventor： 平澤 洋 ,  吉田 誠 ,  鈴木 義雄 ,  岡田 智 ,  近藤 健一 ,  中村 奨
Applicant, Patent owner： スタンレー電気株式会社
Agent (1)： 丹羽 宏之 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999083983
Publication number (International publication number)：2000273617
Application date： Mar. 26, 1999
Publication date： Oct. 03, 2000
Summary：

【要約】【課題】 透明電極として使用されるZnOの透明導電膜の作製に際して、成膜速度が速く、且つ抵抗率の低いZnO膜が得られるようにする。【解決手段】 真空チャンバー1内で、Arガスを導入して直流電源6により陽極4から陰極5へ向けてアーク放電によるプラズマ8を発生させ、イオンプレーティング法により基板3の表面にZnOの透明導電膜を成膜させる。その際、ZnOの焼結体7にGa2 O3 を1〜3重量%混入させて、イオンプレーティングを行う。

Claim (excerpt)：

アーク放電を用いたイオンプレーティング法によりGaを添加したZnOの透明導電膜を成膜させるようにしたことを特徴とする透明導電膜の製造方法。

IPC (5)：

C23C 14/08 ,  C04B 35/64 ,  C23C 14/32 ,  H01B 13/00 503 ,  H01B 5/14

FI (6)：

C23C 14/08 C ,  C23C 14/32 A ,  C23C 14/32 B ,  H01B 13/00 503 B ,  H01B 5/14 ,  C04B 35/64 Z

F-Term (12)：

4K029BA49 ,  4K029BB07 ,  4K029BC09 ,  4K029CA03 ,  4K029DB05 ,  4K029DD06 ,  5G307FA01 ,  5G307FB01 ,  5G307FC03 ,  5G307FC10 ,  5G323BA02 ,  5G323BB06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平3-029216
  
• 透明導電膜
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-224673   Applicant：旭硝子株式会社