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J-GLOBAL ID：200903015965265310

試料を検査する方法および装置

Inventor：
シュテファン ヴィルヘルム

About シュテファン ヴィルヘルム

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ミハエル ケンペ

About ミハエル ケンペ

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エーファ ジムビュルガー

About エーファ ジムビュルガー


Applicant, Patent owner：
カール ツァイス マイクロイメージング ゲーエムベーハー

About カール ツァイス マイクロイメージング ゲーエムベーハー


Agent (2)： 恩田 博宣 ,  恩田 誠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006322869
Publication number (International publication number)：2007155722
Application date： Nov. 30, 2006
Publication date： Jun. 21, 2007
Summary：
【課題】最適な結像を達成する試料の検査方法を提供する。【解決手段】試料を顕微鏡で検査する方法は、試料を照明するために空間的にコヒーレントな光を少なくとも1つの連続的な波長範囲、または連続的に同調可能な波長範囲で発生し、試料および/または所定の検査方法に応じて照明光の1つまたは複数の波長または波長範囲を選択する。次に選択された波長または波長範囲の照明光で試料を照明し、引き続き照明光と該試料から来る放出光とを異なる光路に分離し、試料から反射する検出光路内の照明光を検出前に除去し、該放出光を検出する。このような方法では、照明光の波長または波長範囲の選択は、所定の制御変数(R)が最大値をとるように、該検出光と照明光との分離、および照明光の除去と同調される。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
試料を顕微鏡で検査し、 該試料を照明するために空間的にコヒーレントな光を少なくとも1つの連続的な、または連続的に同調可能な波長範囲で発生し、 試料および/または所定の検査方法に応じて照明光の1つまたは複数の波長または波長範囲を選択し、 選択された波長または波長範囲の照明光で該試料を照明し、 該照明光と該試料から来る放出光とを異なる光路に分離し、 該試料から反射する検出光路内の照明光を検出前に除去し、 該放出光を検出する方法において、 該照明光の波長または波長範囲の選択を、所定の制御変数(R)が最大値をとるように、該検出光と照明光との分離、および照明光の除去と同調させることを特徴とする方法。
IPC (3)：
G01N 21/64 ,  G02B 21/06 ,  G02B 21/18
FI (4)：
G01N21/64 E ,  G01N21/64 F ,  G02B21/06 ,  G02B21/18
F-Term (33)：
2G043AA03 ,  2G043BA16 ,  2G043DA02 ,  2G043EA01 ,  2G043FA02 ,  2G043HA01 ,  2G043HA02 ,  2G043HA05 ,  2G043HA06 ,  2G043HA07 ,  2G043HA09 ,  2G043JA03 ,  2G043JA04 ,  2G043JA05 ,  2G043JA08 ,  2G043KA01 ,  2G043KA02 ,  2G043KA05 ,  2G043KA09 ,  2G043LA03 ,  2G043LA07 ,  2G043MA01 ,  2G043NA01 ,  2G043NA06 ,  2H052AA07 ,  2H052AA09 ,  2H052AB24 ,  2H052AB25 ,  2H052AC14 ,  2H052AC15 ,  2H052AC34 ,  2H052AD32 ,  2H052AD34
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (10)
  • 米国特許第6611643号明細書
  • 米国特許第6796699号明細書
  • 独国特許出願公開第10115509A1号明細書
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Cited by examiner (3)

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