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J-GLOBAL ID：200903016012987497

3次元形状測定機およびその測定方法

Inventor：
神谷 誠一

About 神谷 誠一


Applicant, Patent owner：
キヤノン株式会社

About キヤノン株式会社


Agent (1)： 阪本 善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999071254
Publication number (International publication number)：2000266524
Application date： Mar. 17, 1999
Publication date： Sep. 29, 2000
Summary：
【要約】【課題】 被測定物の3次元形状を高精度にかつ短時間で測定することが可能な3次元形状測定機および3次元形状測定方法を提供する。【解決手段】 3次元形状測定機の座標軸をR-θ-Z系とし、被測定物1をθステージ7に載置し、光プローブ2をRステージ3およびZステージ4上に配設し、光プローブ位置検出手段としてのレーザ測長器9(9a〜9h)はすべてを同一のR-Z面内に配置して、被測定物1の形状を前記R-Z面内における2次元上で形状測定を行なうようにする。レーザ測長器9に使用されるRおよびZ基準ミラー5,6はその幅を小さくでき、製作が容易になるとともにその平面度を向上させることができ、また、レーザ測長器9による測定誤差も2次元上についてのみ考慮すれば良く測定誤差を減少させることができる。
Claim (excerpt)：
被測定物の形状に沿って走査するプローブを用いて被測定物の3次元形状を測定する3次元形状測定機において、被測定物を支持しかつ該被測定物に垂直方向となるZ軸方向に対しての回転成分となるθ軸方向に移動可能に設けられたθステージと、該θステージ上の前記被測定物に対して水平方向となるR軸方向に移動可能に設けられたRステージと、被測定物に対して垂直方向となるZ軸方向に移動可能に設けられたZステージを備え、前記プローブは前記Rステージおよび前記Zステージ上に配設され、前記Rステージ、前記θステージおよび前記Zステージの各々に設けられた位置検出手段は全て同一のR-Z面上に配置されていることを特徴とする3次元形状測定機。
F-Term (23)：
2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065CC22 ,  2F065DD06 ,  2F065FF11 ,  2F065FF52 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065HH09 ,  2F065HH10 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL09 ,  2F065LL12 ,  2F065LL17 ,  2F065LL33 ,  2F065LL36 ,  2F065MM03 ,  2F065MM04 ,  2F065MM07 ,  2F065PP22
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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