面形状測定装置及びこれに好適な干渉測定装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：高梨幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997242211
Publication number (International publication number)：1999063945
Application date： Aug. 22, 1997
Publication date： Mar. 05, 1999
Summary：

【要約】【課題】光プローブを利用することにより、非球面等の面形状を高精度に測定することができる面形状測定装置を得ること。【解決手段】僅かに周波数の異なる2つの光のうち一方の光は参照面にて反射させ、他方の光は被測定面上に所定の半開角のレンズ系を用いて入射させ、双方の反射光を干渉させて、複数の素子を有する光検出器で測定信号を得る際、該レンズ系と光検出器は筐体内に収納しており、測定信号は被測定面上で垂直反射して帰ってきた光束に対応する該光検出器中の素子を選択し、この素子を中心とする近傍素子によって得られるビート信号を加算して得ており、該参照信号と該測定信号の位相差が一定となるように該筐体と被測定面の間隔を光軸方向に制御し、該筐体と被測定面を光軸直交方向に相対位置変化させたときの該筐体の位置情報を測長手段にて読みとることにより被測定面の面形状を測定すること。

Claim (excerpt)：

僅かに周波数の異なる2つの光より基準となる参照信号を得るとともに該2つの光のうち一方の光は参照面にて反射させ、他方の光は被測定面上に被測定物の最大面傾斜角度以上の半開角を有するレンズ系を用いて入射させ、該被測定面にて反射させ、双方の反射光を干渉させて、複数の素子を有する光検出器で検出して測定信号を得る際、該レンズ系と光検出器は筐体内に収納しており、測定信号は被測定面上で垂直反射して帰ってきた光束に対応する該光検出器中の素子を選択し、この素子を中心とする近傍素子によって得られるビート信号を加算して得ており、該参照信号と該測定信号の位相差が一定となるように該筐体と被測定面の間隔を光軸方向に制御し、該筐体と被測定面を光軸直交方向に相対位置変化させたときの該筐体の位置情報を測長手段にて読みとることにより被測定面の面形状を測定することを特徴とする面形状測定装置。

IPC (3)：

G01B 11/24 , G01F 11/24 , G01M 11/00

FI (3)：

G01B 11/24 D , G01F 11/24 , G01M 11/00 L

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

断層像撮影装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-057137 Applicant：株式会社生体光情報研究所

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