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J-GLOBAL ID：200903016030055798

三次元断面加工観察装置

Inventor： 野村 節生 ,  広瀬 博
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994250346
Publication number (International publication number)：1996115699
Application date： Oct. 17, 1994
Publication date： May. 07, 1996
Summary：

【要約】【構成】FIB断面加工観察装置1,複数枚の画像を格納する画像メモリ10,断面作成領域を一定の方向にずらしながら断面を作成するFIB制御手段によりなる。【効果】欠陥解析に最適な断面が高効率で得られるようになった。また、欠陥部の三次元構造が分かるようになった。

Claim (excerpt)：

集束イオンビームの走査により作成した検体の断面を走査形イオン顕微鏡像もしくは走査形電子顕微鏡像で観察出来るようにした集束イオンビーム断面加工観察装置において、前記断面に垂直な方向に任意の距離を離してシリーズに新しい断面を形成してゆく集束イオンビーム制御手段と,各断面の作成ごとに断面像を撮影する手段と,撮影した複数の該断面像を電気的に記憶する手段を有することを特徴とする三次元断面加工観察装置。

IPC (2)：

H01J 37/22 502 ,  H01J 37/28

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• FIB/EB複合装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-118856   Applicant：日本電子株式会社
• 特開平4-188553
  
• 特開平3-272554