超臨界流体洗浄装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：梅田勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996200007
Publication number (International publication number)：1998050648
Application date： Jul. 30, 1996
Publication date： Feb. 20, 1998
Summary：

【要約】【課題】洗浄溶媒をガス状態でフィルターにより濾過し、これを再度液化することでフィルターの濾過性能を最大限に発揮させることができ、かつ、フィルターの破壊を防止することのできる超臨界流体洗浄装置を提供する。【解決手段】容器1は、洗浄溶媒を貯蔵しており、洗浄溶媒を気体状態で送出する。フィルター3は、容器1からの気体状態の洗浄溶媒を濾過して清浄化する。圧縮機4,冷却器5,貯液タンク6,ポンプ7,加熱機8は、濾過された洗浄溶媒を超臨界状態として、洗浄槽9内に導入する。洗浄槽9内においてワークの洗浄がなされる。

Claim (excerpt)：

超臨界状態の洗浄溶媒と被洗浄物を洗浄槽内で接触させることにより、前記被洗浄物を洗浄する超臨界流体洗浄装置において、前記洗浄溶媒を貯蔵しており、該洗浄溶媒を気体状態で送出する貯蔵手段と、該貯蔵手段からの気体状態の洗浄溶媒を濾過する濾過手段と、該濾過手段により濾過された洗浄溶媒を超臨界状態として、前記洗浄槽内に導入する超臨界流体生成手段と、を有してなることを特徴とする超臨界流体洗浄装置。

IPC (3)：

H01L 21/304 341 , H01L 21/304 , B08B 3/08

FI (3)：

H01L 21/304 341 M , H01L 21/304 341 G , B08B 3/08 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開平2-098928
洗浄方法および洗浄装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-077525 Applicant：シャープ株式会社
超臨界流体による処理装置および処理方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-278503 Applicant：オムロン株式会社

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