光導波路及びその製造方法並びに光伝送モジュール

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：松本孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994245439
Publication number (International publication number)：1996110425
Application date： Oct. 11, 1994
Publication date： Apr. 30, 1996
Summary：

【要約】【目的】バッファ層及びコアガラス膜形成後のSi基板の反りを極めて小さくし、さらに、クラッド層形成後のSi基板の反りも極めて小さくする。【構成】Si基板20の表面にバッファ層21を形成し、その上にコアガラス膜22を形成する。バッファ層21及びコアガラス膜22を形成することによって生じたSi基板20の反りを矯正するために、バッファ層21と同一組成で構成される石英系ガラス膜23をSi基板20の裏面に形成する。次いで、コアガラス膜22を加工してコア24を形成し、コア上に多孔質ガラス層25を形成した後、多孔質ガラス層を透明ガラス化してクラッド層26を形成する。クラッド層26を形成することにより生じたSi基板20の反りを矯正するために、Si基板20の裏面に形成した石英系ガラス膜23上に、さらにバッファ層21またはクラッド層26と同一組成で構成される石英系ガラス膜27を形成する。

Claim (excerpt)：

Si基板と、該Si基板の表面に設けられたバッファ層と、該バッファ層上に設けられたコアと、該コアを含むバッファ層上に設けられたクラッド層と、前記Si基板の表面の一部を露出させることにより形成され、光素子が搭載されるSiベンチと、前記Si基板の裏面に設けられ、前記バッファ層とコアとを設ける過程で生じるSi基板の反りを矯正する第1の石英系ガラス膜と、該第1の反り矯正層上に設けられ、前記クラッド層を設ける過程で生じるSi基板の反りを矯正する第2の石英系ガラス膜とを備えた光導波路。

IPC (3)：

G02B 6/122 , G02B 6/13 , G02B 6/42

FI (2)：

G02B 6/12 A , G02B 6/12 M

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

特開昭63-184708
ハイブリッド光集積回路の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-201624 Applicant：富士通株式会社

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