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J-GLOBAL ID：200903016186071327

走査型顕微鏡検査における照明用光源装置、及び走査型顕微鏡

Inventor： ヨハン エンゲルハルト ,  ユルゲン ホフマン
Applicant, Patent owner： ライカ ミクロジュステムス ハイデルベルク ゲーエムベーハー
Agent (1)： 加藤 朝道 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001348265
Publication number (International publication number)：2002196252
Application date： Nov. 14, 2001
Publication date： Jul. 12, 2002
Summary：

【要約】【課題】 安定的でかつ調節も容易であり、しかも低コストで高分解能を実現できる走査型顕微鏡検査における照明用光源装置及び走査型顕微鏡を提供すること。【解決手段】 走査型顕微鏡検査における照明用光源装置及び走査型顕微鏡は、a)1つの波長の光線(17)を発する電磁的エネルギー源(3)を有し、b)電磁的エネルギー源(3)に、光線(17)を空間的に分割して少なくとも2つの分割光線(19、21)を形成する手段(5)が後置されており、及びc)少なくとも1つの分割光線(21)に、波長を変化させるための中間素子(9)が配されている。

Claim (excerpt)：

a)1つの波長の光線(17)を発する電磁的エネルギー源(3)を有すること、b)該電磁的エネルギー源(3)には、前記光線(17)を空間的に分割して少なくとも2つの分割光線(19、21)を形成する手段(5)が後置されていること、及びc)少なくとも1つの分割光線(21)には、波長を変化させるための中間素子(9)が配されていることを特徴とする走査型顕微鏡検査における照明用光源装置。

F-Term (6)：

2H052AA07 ,  2H052AA08 ,  2H052AC14 ,  2H052AC15 ,  2H052AC30 ,  2H052AC34

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 顕微鏡の観察方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-255444   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
• 光学顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-302232   Applicant：科学技術振興事業団, オリンパス光学工業株式会社