レーザ誘起プラズマ検出方法とそれを用いるレーザ制御方法およびレーザ加工機

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：松村博
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996249453
Publication number (International publication number)：1998085967
Application date： Sep. 20, 1996
Publication date： Apr. 07, 1998
Summary：

【要約】【課題】レーザ加工の孔明け加工タクトの短縮化を図る。【解決手段】レーザ光が被加工物に照射された際に、レーザ誘起プラズマから発生する光のスペクトルの中から被加工物材料に固有な波長を回折格子により選択し、その光のみを光-電気信号変換器に入力して検出信号を得る。検出信号のピーク値が一定になるようにレーザパルス信号のパルス幅を制御する。さらに検出信号の出力が予め被加工物材料により設定された判定閾値より低くなるとレーザパルス信号の次のパルスを出力するように制御する。このような制御を行うことで、パルス間隔がレーザ誘起プラズマの寿命より長くなることを防止し、最短のパルス間隔を得る。レーザパルス信号に同期して検出されピーク値が極端に変化した点を貫通時間とすることで貫通後の孔明け加工を無くし、レーザ加工の孔明け加工タクトを最短化する。

Claim (excerpt)：

レーザ光を被加工物まで誘導して加工を行うレーザ加工機において、前記被加工物直前に配置された加工トーチに光学レンズ,回折格子,光-電気信号変換器を備える光検出ユニットにより、前記レーザ光が被加工物に照射された際に、検出視野を制限する前記光学レンズを経て、レーザ誘起プラズマから発生する光のスペクトルの中から被加工物材料に固有な波長を前記回折格子により選択し、選択された前記波長の光のみを変換する前記光-電気信号変換器に入力して検出することを特徴とするレーザ誘起プラズマ検出方法。

IPC (4)：

B23K 26/00 , B23K 26/00 330 , H01S 3/00 , H01S 3/10

FI (4)：

B23K 26/00 M , B23K 26/00 330 , H01S 3/00 G , H01S 3/10 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

レーザ加工機
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-026087 Applicant：澁谷工業株式会社
特開平3-207587
特開昭59-164924

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