校正用ガス調製装置及びガス分析装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999220329
Publication number (International publication number)：2001013045
Application date： Jun. 29, 1999
Publication date： Jan. 19, 2001
Summary：

【要約】【課題】校正用ガス調製装置や分析部が汚染されることを防ぐと共に、仮に汚染された場合にも、ガス分析装置の測定精度に影響を与えない校正用ガス調製装置及びガス分析装置を提供する。【解決手段】スパンガス供給を開始する際には、ポンプ11を予め所定時間作動させてから開閉弁23を開とする。スパンガス供給を終了する際には、開閉弁23を閉としてからポンプ11を引き続き所定時間強制的に作動させる。また、校正を開始する際には、ポンプ11を予め所定時間作動させてから切替部材50により校正用ガス供給ライン30側を選択する。さらに、試料ガスの分析を行っている期間に、定期的に開閉弁23を閉とした状態でポンプ11を所定時間作動させる。

Claim (excerpt)：

ポンプにより精製器を通過させたガスをゼロガスとして供給するゼロガス供給ラインと、高圧容器の標準ガスを開閉弁を介して供給する標準ガス供給ラインと、ゼロガス供給ラインと標準ガス供給ラインとが合流してなる校正用ガス供給ラインとを備え、前記ポンプを作動させながら前記開閉弁を開くことにより校正用ガス供給ラインからスパンガスを供給する校正用ガス調製装置において、スパンガス供給を開始する際に、前記ポンプを予め所定時間作動させてから前記開閉弁を開とすることを特徴とする校正用ガス調製装置。

IPC (3)：

G01N 1/00 102 , G01N 1/00 , G01N 1/00 101

FI (3)：

G01N 1/00 102 D , G01N 1/00 C , G01N 1/00 101 S

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

標準ガス調製装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-095136 Applicant：株式会社島津製作所
環境大気用二酸化硫黄測定装置の校正方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-124800 Applicant：株式会社島津製作所
超高精度分析装置へのガス供給方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-251486 Applicant：ル・エール・リクイツド・ソシエテ・アノニム・プール・ル・エチユド・エ・ル・エクスプルワテシヨン・デ・プロセデ・ジエオルジエ・クロード

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Cited by examiner (3)

標準ガス調製装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-095136 Applicant：株式会社島津製作所
環境大気用二酸化硫黄測定装置の校正方法
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超高精度分析装置へのガス供給方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-251486 Applicant：ル・エール・リクイツド・ソシエテ・アノニム・プール・ル・エチユド・エ・ル・エクスプルワテシヨン・デ・プロセデ・ジエオルジエ・クロード

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