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J-GLOBAL ID：200903016420478886

ポジ型感光性組成物

Inventor： 青合 利明 ,  山中 司 ,  上西 一也 ,  小久保 忠嘉 ,  近藤 俊一
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992299093
Publication number (International publication number)：1994051519
Application date： Oct. 13, 1992
Publication date： Feb. 25, 1994
Summary：

【要約】【目的】 露光後のベークによる膜収縮及び現像時の膜減りが少なく、良好なプロファイルと高解像力を有するポジ型感光性組成物を提供する。【構成】 ポジ型感光性組成物が、(a)水不溶でアルカリ水溶液に可溶な樹脂、(b)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(c)酸により分解し得る基を有し、アルカリ現像液中での溶解度が酸の作用により増大する、分子量3,000以下の単一構造から成る低分子化合物、を含有するポジ型感光性組成物において、該化合物(c)が、(i)酸で分解し得る基を少なくとも2個有し、該酸分解性基間の距離が、最も離れた位置において、酸分解性基を除く結合原子を10個以上経由する化合物、又は、(ii)酸で分解し得る基を少なくとも3個有し、該酸分解性基間の距離が最も離れた位置において、酸分解性基を除く結合原子を9個以上経由する化合物、であることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

(a)水不溶でアルカリ水溶液に可溶な樹脂、(b)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(c)酸により分解し得る基を有し、アルカリ現像液中での溶解度が酸の作用により増大する、分子量3,000以下の低分子酸分解性溶解阻止化合物、を含有するポジ型感光性組成物において、該化合物(c)が、(i)酸で分解し得る基を少なくとも2個有し、該酸分解性基間の距離が、最も離れた位置において、酸分解性基を除く結合原子を10個以上経由する化合物、及び、(ii)酸で分解し得る基を少なくとも3個有し、該酸分解性基間の距離が最も離れた位置において、酸分解性基を除く結合原子を9個以上経由する化合物、から選ばれた少なくとも1種であることを特徴とするポジ型感光性組成物。

IPC (3)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平4-212159
  
• レジスト組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-285186   Applicant：日本ゼオン株式会社