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J-GLOBAL ID：200903016476792320

ネガ型感放射線性樹脂組成物

Inventor：
池崎 洋次

About 池崎 洋次

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山近 幹雄

About 山近 幹雄

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大田 利幸

About 大田 利幸

, 
辻 昭

About 辻 昭


Applicant, Patent owner：
日本合成ゴム株式会社

About 日本合成ゴム株式会社


Agent (1)： 福沢 俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995347019
Publication number (International publication number)：1997166870
Application date： Dec. 14, 1995
Publication date： Jun. 24, 1997
Summary：
【要約】【目的】 高解像度で矩形のパターンを形成することができ、しかも感度、現像性、寸法忠実度等に優れた化学増幅型ネガ型レジストとして好適なネガ型感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】 感放射線性樹脂組成物は、(イ)アルカリ可溶性樹脂、(ロ)感放射線性酸発生剤、(ハ)アルコキシメチル化グリコールウリル化合物および/またはアルコキシメチル化メラミン化合物からなる架橋剤、並びに(ニ)塩基性化合物を含有し、かつ該アルカリ可溶性樹脂が、重量平均分子量5,000を超え100,000以下および分散度1.3以下のポリ(p-ヒドロキシスチレン)で代表されるヒドロキシスチレン系樹脂を含有することを特徴とする。
Claim (excerpt)：
(イ)ヒドロキシスチレン単位の含有率が100〜50モル%、ポリスチレン換算重量平均分子量が5,000を超え100,000以下、分散度が1.3以下である樹脂(A)(但し、下記樹脂(B)を除く。)、および下記式(1)で表される繰返し単位と下記式(2)で表される繰返し単位とを有し、かつ下記式(1)で表される繰返し単位の数をn、下記式(2)で表される繰返し単位の数をmとしたとき、n/m=35/65〜95/5の条件を満たす樹脂(B)から選ばれる少なくとも1種のアルカリ可溶性樹脂、(ロ)感放射線性酸発生剤、(ハ)アルコキシメチル化グリコールウリル化合物およびアルコキシメチル化メラミン化合物から選ばれる少なくとも1種の架橋剤、並びに(ニ)塩基性化合物を含有することを特徴とするネガ型感放射線性樹脂組成物。【化1】【化2】〔式(2)において、R1は炭素数1〜6の非環式もしくは環式のアルキル基、炭素数7〜8のアラルキル基またはフェニル基を示し、R2は水素原子または炭素数1〜6の非環式もしくは環式のアルキル基を示す。〕
IPC (5)：
G03F 7/038 505 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/027
FI (5)：
G03F 7/038 505 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/30 502 R
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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