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J-GLOBAL ID：200903061057277119

感放射線性樹脂組成物

Inventor：
山近 幹雄

About 山近 幹雄

, 
池崎 洋次

About 池崎 洋次

, 
大田 利幸

About 大田 利幸

, 
辻 昭

About 辻 昭


Applicant, Patent owner：
日本合成ゴム株式会社

About 日本合成ゴム株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994121845
Publication number (International publication number)：1995306531
Application date： May. 11, 1994
Publication date： Nov. 21, 1995
Summary：
【要約】【構成】 a)アルカリ可溶性樹脂、b)感放射線性酸発生剤およびc)アルコキシメチル化ウレア樹脂またはアルコキシメチル化グリコールウリル樹脂からなる、酸の存在下にa)アルカリ可溶性樹脂を架橋し得る架橋剤を含有してなることを特徴とする感放射線性樹脂組成物【効果】 感度、現像性、解像度等に優れ、現像時のパターンの膨潤、パターンの蛇行がないレジスト被膜を形成する化学増幅型ネガ型レジスト組成物として好適であり、i線等の紫外線、エキシマレーザー等の遠紫外線、シンクロトロン放射線等のX線、電子線等の荷電粒子線といった放射線のいずれにも対応でき、半導体デバイス製造用の感放射線性樹脂組成物として好適に使用できる。
Claim (excerpt)：
放射線照射により酸を発生させ、その酸の触媒作用による化学変化によって放射線照射部分の現像液に対する溶解性を変化させてパターンを形成する感放射線性樹脂組成物において、a)アルカリ可溶性樹脂、b)感放射線性酸発生剤およびc)アルコキシメチル化ウレア樹脂またはアルコキシメチル化グリコールウリル樹脂からなる、酸の存在下にa)アルカリ可溶性樹脂を架橋し得る架橋剤を含有してなることを特徴とする感放射線性樹脂組成物
IPC (4)：
G03F 7/038 505 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/029 ,  H01L 21/027
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (20)
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