薄膜形成方法および薄膜形成装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小鍜治明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994215954
Publication number (International publication number)：1996071489
Application date： Sep. 09, 1994
Publication date： Mar. 19, 1996
Summary：

【要約】【目的】薄膜の形成方法および薄膜の形成装置に関するもので、MOD溶液、ゾルゲル溶液、樹脂を含む溶液、および金属粒子を含む溶液を媒体上に吐出することができ、媒体上にそれらの材料の薄膜を形成することを目的とする。【構成】薄膜形成材料と前記薄膜形成材料を良好に溶解する溶媒とを含み比抵抗が105Ωcm以上の溶液状物質を吐出用ノズル内に案内する工程と、ノズルの軸線方向に被形成部材を設置する工程と、前記ノズル内の溶液状物質に対して前記ノズルの軸線方向に静電力を作用させて前記ノズルから被形成部材に向かって前記溶液状物質を曳糸状で吐出する工程とを有する薄膜形成方法、およびこの薄膜形成方法の実施に最適な薄膜形成装置である。

Claim (excerpt)：

薄膜形成材料と前記薄膜形成材料を溶解する溶媒とを含み比抵抗が105Ωcm以上の溶液状物質を吐出用のノズル内に案内する工程と、前記ノズルの軸線方向に被形成部材を設置する工程と、前記ノズル内の溶液状物質に対して前記ノズルの軸線方向に静電力を作用させて前記ノズルから被形成部材に向かって前記溶液状物質を曳糸状で吐出する工程とを有する薄膜形成方法。

IPC (3)：

B05D 1/04 , B05B 5/025 , C23C 26/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開平2-299855
有機磁性材料および該材料を使用した磁性薄膜、磁性インクならびに磁性トナー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-152889 Applicant：株式会社リコー
特開平4-344250

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