Pat

J-GLOBAL ID：200903016498022382

平面プローブ及びその製造方法

Inventor： 興梠 元伸 ,  八井 崇 ,  大津 元一
Applicant, Patent owner： 財団法人神奈川科学技術アカデミー
Agent (1)： 小池 晃 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997266870
Publication number (International publication number)：1999110793
Application date： Sep. 30, 1997
Publication date： Apr. 23, 1999
Summary：

【要約】【課題】 エバネッセント光を効率良く生じることができ、また機械的強度に優れた平面プローブ及びその製造方法を提供する。【解決手段】 基板1上に錐状の貫通孔2を形成し、この貫通孔2内にレンズ4を収容することでプローブ5を構成する。そして、貫通孔2の頂点側の開口部3が臨む基板面を含む平面Bと、球レンズ4の焦点Fとの距離をk、球レンズの焦点距離をfとしたときに、|k|≦f/4なる関係を満たすようにする。

Claim (excerpt)：

基板に錐状の貫通孔が形成され、この貫通孔内に球レンズが収容されることで形成されたプローブを有し、貫通孔の頂点側の開口部が臨む基板面を含む平面と、球レンズの焦点との距離をk、球レンズの焦点距離をfとしたときに、|k|≦f/4なる関係を満たすことを特徴とする平面プローブ。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• マイクロレンズアレイ及びその製作法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-279359   Applicant：日本電信電話株式会社
• マイクロレンズアレイおよびその製作法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-223713   Applicant：日本電信電話株式会社