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J-GLOBAL ID：200903016593654175

スイッチとその製造方法

Inventor： 森仲 克也 ,  平岡 聡一郎 ,  田村 昌也
Applicant, Patent owner： パナソニック株式会社
Agent (3)： 岩橋 文雄 ,  内藤 浩樹 ,  永野 大介
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007316901
Publication number (International publication number)：2009140799
Application date： Dec. 07, 2007
Publication date： Jun. 25, 2009
Summary：

【課題】他の実装用パッケージを必要としない安価なスイッチを提供することを目的とする。【解決手段】少なくとも一方に外部電極を設けた二枚の基板9、10を貼り合わせて内部に空隙部を形成し、この空隙部に、下部電極層20、圧電体層21、上部電極層22を順に積層して形成した駆動部16と、これら上部電極層22、下部電極層20および圧電体層21の少なくとも一部からなる弾性体部17を介して、前記空隙部内に両持ちで支持、懸架された第一の電極部19と、この第一の電極部19と一定の間隔で対向配置された第二の電極部24を設けた。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

表面に設けた有底の第一の溝部上に、下部電極層と、圧電体層と、上部電極層を順に積層してなる駆動部と、これら上部、下部電極層および圧電体層の少なくとも一部からなる弾性体部を介して二辺を保持、懸架された第一の電極部を備えた第一の基板と、裏面に第一、第二の外部電極を有し、表面に設けた第二の溝部の底部に、その一部が第一の貫通電極を介して前記第一の外部電極へ接続された第二の電極部と、前記第二の外部電極へ接続された第二の貫通電極を備えた第二の基板とからなり、これら第一、第二の基板を貼り合わせることで、前記第一、第二の電極部を一定の間隔で対向させるとともに、前記上部、下部電極層と第二の外部電極とを接続させたものであって、この第二の外部電極を介して内部の上部、下部電極層に電圧を印加し圧電体層を反らせ、前記第一、第二の電極部間の間隔を変化させることで、第一の外部電極の切替え動作を行うスイッチ。

IPC (7)：

H01H 57/00 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22 ,  H01H 11/00 ,  H02N 2/00

FI (7)：

H01H57/00 C ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 Z ,  H01H11/00 V ,  H02N2/00 B

F-Term (5)：

5G023AA01 ,  5G023AA11 ,  5G023BA01 ,  5G023CA29 ,  5G023CA50

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• マイクロメカニカルデバイス、マイクロスイッチ、容量可変キャパシタ、高周波回路及び光学スイッチ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2005-178367   Applicant：株式会社東芝