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J-GLOBAL ID：200903004441444576

マイクロメカニカルデバイス、マイクロスイッチ、容量可変キャパシタ、高周波回路及び光学スイッチ

Inventor：
川久保 隆

About 川久保 隆

, 
長野 利彦

About 長野 利彦

, 
阿部 和秀

About 阿部 和秀

, 
西垣 亨彦

About 西垣 亨彦


Applicant, Patent owner：
株式会社東芝

About 株式会社東芝


Agent (7)： 三好 秀和 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  川又 澄雄 ,  中村 友之 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005178367
Publication number (International publication number)：2006346830
Application date： Jun. 17, 2005
Publication date： Dec. 28, 2006
Summary：
【課題】 動作不良を抑制し得るマイクロメカニカルデバイス、容量可変キャパシタ、高周波回路及び光学スイッチを提供する。【解決手段】 圧電膜21と、圧電膜21を挟む下部電極22A、23A及び上部電極22B、23Bと、圧電膜21を支持するための支持膜25とを有し、基板11上に固定された第1の固定部12から第1の作用部に延在する第1の圧電駆動アクチュエータ10Aと、第1の圧電駆動アクチュエータ10Aの第1の作用部に設けられ、第1の圧電駆動アクチュエータ10Aとの接続部を固定部として、第2の作用部まで延在する第2の圧電駆動アクチュエータ10Bと、を備え、第2の圧電駆動アクチュエータ10Bは、第1の圧電駆動アクチュエータ10Aよりも短く形成されている構成とする。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
圧電膜と、前記圧電膜を挟む下部電極及び上部電極とを有し、基板上に固定された第1の固定部から第1の作用部に延在する第1の圧電駆動アクチュエータと、 前記第1の圧電駆動アクチュエータの前記第1の作用部に設けられ、前記第1の圧電駆動アクチュエータとの接続部を固定部として、第2の作用部まで延在する第2の圧電駆動アクチュエータと、を備え、 前記第2の圧電駆動アクチュエータは、前記第1の圧電駆動アクチュエータよりも短く形成されていることを特徴とするマイクロメカニカルデバイス。
IPC (5)：
B81B 3/00 ,  H01H 57/00 ,  H01G 5/00 ,  H02N 2/00 ,  H01G 5/18
FI (6)：
B81B3/00 ,  H01H57/00 B ,  H01H57/00 C ,  H01G5/24 N ,  H02N2/00 B ,  H01G5/24 561
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (12)
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