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J-GLOBAL ID:200903016624110420

凝縮装置洗浄方法及びその方法を用いた溶液製膜方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 小林 和憲
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003166709
Publication number (International publication number):2005000794
Application date: Jun. 11, 2003
Publication date: Jan. 06, 2005
Summary:
【課題】凝縮液を用いて凝縮装置内の付着物を洗浄する。【解決手段】凝縮装置42にガス50を送風する。ガス50中の揮発成分である溶媒43aと添加剤50aとが、凝縮面51aで凝縮液化する。凝縮溶媒43aは、リザーブタンク55に回収溶媒43として保存する。ガス流路42bの閉塞度が上昇すると、制御装置59により回収溶媒43を洗浄装置63のノズル64から放出する。凝縮面51aに付着していた添加剤50aを洗浄する。洗浄に用いた回収溶媒43を再度リザーブタンク55に溜める。回収溶媒に不純物が含まれていないため、溶媒処理装置44で処理した後に再利用することが可能である。【選択図】 図2
Claim (excerpt):
添加剤と溶媒とを含んだガスを凝縮面で凝縮して、前記添加剤と前記溶媒とを液体として回収する凝縮装置の洗浄方法において、 前記液体を前記凝縮面に吹き付けて、 前記凝縮面に付着した前記添加剤を洗浄することを特徴とする凝縮装置洗浄方法。
IPC (4):
B08B3/02 ,  B01D5/00 ,  B29C41/24 ,  G03C1/795
FI (4):
B08B3/02 Z ,  B01D5/00 E ,  B29C41/24 ,  G03C1/795
F-Term (24):
2H023FA01 ,  2H023FA13 ,  3B201AA47 ,  3B201AB53 ,  3B201BB22 ,  3B201BB90 ,  3B201BB95 ,  3B201CD22 ,  4D076AA12 ,  4D076AA16 ,  4D076AA24 ,  4D076BC01 ,  4D076BC25 ,  4D076CD42 ,  4D076FA02 ,  4D076FA11 ,  4D076HA10 ,  4D076JA05 ,  4F205AA01 ,  4F205AA50 ,  4F205AG01 ,  4F205GA07 ,  4F205GB02 ,  4F205GF51
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)

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