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J-GLOBAL ID:200903016661345267

カラーフィルターレジスト用現像液

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 重野 剛
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995167421
Publication number (International publication number):1997015870
Application date: Jul. 03, 1995
Publication date: Jan. 17, 1997
Summary:
【要約】【目的】 従来の高pHのアルカリ現像液の問題を解消する。【構成】 分子内にスルホン酸塩基を有するアニオン性界面活性剤と、アルキレンジオール及び/又はポリアルキレンジオールとを含有し、現像液の全重量に対するアルカリ剤の含有量が0.2重量%以下であるカラーフィルターレジスト用現像液。【効果】 分子内にスルホン酸塩基を有するアニオン性界面活性剤と、アルキレンジオール及び/又はポリアルキレンジオールとの組合せにより、現像液中のアルカリ剤の配合量を低減でき、高pHの現像液を用いることによる従来の問題が解消される。現像性、画像再現性に優れ、現像処理における経時安定性にも優れるため、高品質のカラーフィルターを低コストで容易に連続製造できる。低pHであるため、取扱時の人体に対する安全性、使用済現像液の廃液処理等の問題もない。
Claim (excerpt):
分子内にスルホン酸塩基を有するアニオン性界面活性剤と、アルキレンジオール及び/又はポリアルキレンジオールとを含有し、現像液の全重量に対するアルカリ剤の含有量が0.2重量%以下であることを特徴とするカラーフィルターレジスト用現像液。
IPC (2):
G03F 7/32 ,  G02B 5/20 101
FI (2):
G03F 7/32 ,  G02B 5/20 101
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
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